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洁净室与静电分析(2)

而灵敏静电压大于16000V的,便不必采纳防静电办法。 (2)静电防护作业区的分级 
A级:答应对地静电电位不超越±100V B级:答应对地静电电位不超越±1000V 
实践工程中是分静电电位不超越100V、500V、1000V等对应元器件、组件和设备静电灵敏电压的3级。 3、尽量减小静电荷的发生 
这是操控静电三步曲的**步,在这净化作业环境中,**佳的办法: (1)尽量选用性质类似器件,削减在触摸冲突别离进程中发生静电电荷; 
(2)尽量选用导静电型或静电耗散型资料的器件,削减触摸冲突别离进程发生堆集静电荷; (3)尽量选用削减触摸冲突别离而发生静电荷的出产流程。 4、泄放和中和 
这是操控静电三步曲的第二步,在微电子出产的净化室中**一般的办法是接地,选用导电性或耗散性资料泄放静电荷,以及离子化消电器中和静电荷。 (1)接地 
洁净室应设一个独立静电接地体系(包括地上接地金属网支体系、出产线作业站接地支体系),以便室内一切设备金属外壳、移动设备的金属支架、防静电器件等安全、有效地将静电荷泄放**大地。作业人员的带电则通过手腕带接地,以及通过防静电鞋或脚跟带再经防静电地上向大地泄放。地上、墙面、顶棚、间隔等是硬接地,设备外壳、移动设备(车、椅、货架等)、作业台等则属软接地。 (2)离子化肖电器 
洁净室中出产拼装的元器件、PCB,出产线、作业站上老是难免存在一些不能接地的**缘导体和**缘介质资料(例如大多数一般塑料)。在某些环境下,离子化消电器常用来部分散失这些物体上的静电荷,而更常常的是借助于空气离子化来中和在**缘介质上和孤立导体上的所带静电电荷。 (3)导静电和静电耗散资料 
导静电资料和静电耗散资料因为其具有导静电性,也是极好的静电荷泄放资料,并且比金属导体泄放更具有安全性,一般被选用做地板、墙面、作业台、周转容器、镊子、刷子等防静电器件。 5、避免ESD,维护商品 
这是操控静电的三步曲中**终一步。在微电子出产的净化室中,为阻挠ESD发作在静电灵敏元器件或组件、PCB上,一种办法是对元器件和组件供给适宜的接地或分路以“散失”掉商品上存在的静电荷;另一种办法是用恰当的包装办法和资料来处理静电灵敏器件的包装和输运。这些资料可有效地屏蔽电荷侵入商品以及削减商品在包装箱中移动而发生静电荷。 
**际上,半导体、平面液晶显示器,光电子开展很快,集成度越来越高,芯片线径越来越细,对防静电请求越来越高。美**ESD协会已开始修订ANS ESD S 20.20-1999静电放电操控纲要,对SSD静电灵敏性分类已作了些修正。 
这给元器件运用者一个警示,不管在人员或设备进行配备制作时,告诉你能需求的环境操控请求。假如EPA区域内答应电压到达25V的话,恐怕大家现有的防静电器件、配备、东西以及工程都要通过一番艰苦的尽力
 

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