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洁净室先容(4)

  ⑶并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之bet5365最新线路检测-bet亚洲官网手机版制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。  

  洁净工作台:等级Class 1~100级。  

  洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较**之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。  

五、气流的流动 

气流的重要性 

  洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。  

  洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此**利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。  

风速的控制 

  洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选

0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以**适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。  

  另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。  

  垂直层流式方向要保持均一气流**:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。  影响因素 

  影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。  

  一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流**制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。  

  洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少**低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。  

六、洁净室之构成 

  洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:  

  ⑴天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。  

  ⑵空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。    ⑶隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。    ⑷地板:包括高架地板或防静电舒美地板。    ⑸照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。  

  洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,**满足如下之条件:  

  A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;    B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;    C.吸湿性小;  

  D.为了维持室内之湿度条件,热**缘性要高。  

七、洁净室按用途分类(可分为两大类) 

工业洁净室 

  以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁bet5365最新线路检测-bet亚洲官网手机版工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。  生物洁净室 

  主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为:    A、 一般生物洁净室:主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料bet5365最新线路检测-bet亚洲官网手机版生产、动物实验室、理化检验室、血站等。  

  B、 生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)。  

八、洁净室污染源常识 

1、发尘量 

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