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微电子洁净室实例

洁净度等级ISO等级 气流流型 平均风速(m/s) 单位面积送风量(m3/m2.h) 应用实例
2 单向流流型 0.3-0.5 / 光刻,半导体工艺区
3 单向流流型 0.3-0.5 / 工作区,半导体工艺区
4 单向流流型 0.3-0.5 / 工作区,多层掩膜工艺、密盘制造半导体服务区、动力区
 
5 单向流流型 0.2-0.5 /
6

 
非单向流流型 0.1-0.3 / 动力区、多层工艺、半导体服务区
 
单向流流型或非单向 / 70-160

7
 
非单向流流型 / 30-70
服务区
 
单向流流型或非单向 /  
8

 
非单向流流型 / 10-20 表面处理

 
单向流流型或非单向 /  

图一  微电子洁净室实例-人员净化程序

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