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洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级(3)

注:a)纳米粒子浓度分级表**与ISO 14644-1分级表配合使用。

    b)ISO-NPC 3级120 000个粒子是包括所有粒径≥ 10 nm 粒子的累计浓度。ISO-APC 3级35个粒子是关注粒径(considerd)≥ 0.5 µm 时,空气中悬浮粒子的**大浓度限值(maximun concentration limit)。  
c)分级采样量要大,见ISO 14644-1序贯采样法。
   d)粒子浓度过高,限值不适用。 
 e)由于采样和统计的局部性,该低浓度不适合于分级。
   f)由于在采样系统中可能的粒子损失,使得低浓度和> 1 µm的粒径不适合于分级。
   g)颁布时该粒径计数超出当前仪器测量范围,本栏供未来使用。
同一个洁净度要求,洁净室处于不同的占有状态,其污染的程度不同:
(1)关注粒径(Considered Particle Size): 0.1 µm;0.2 µm;0.3 µm;0.5 µm;1 µm;5 µm。 0.1 µm~ 0.2 µm 12英寸芯片厂受控环境关注的粒径。 0.2 µm~ 0.3 µm 为空气过滤器**宜穿透粒径 MPPS(Most penetrating particulate size)。0.5 µm~ 5 µm 与细菌的粒径相近(GMP-2010,洁净区悬浮粒子的关注粒径为:0.5 µm;5 µm)。
 (2)**际上取得共识的“技术定义”是,ISO 5级——≥ 0.5 µm 的粒子**大浓度限值为3520个/m  3。空气中的悬浮粒子为分散系,具有随机性和不确定性;计量时引入统计学概率:95%置信上限(UCL, Upper confidence Limit)。 
(3)**内一些**家规范关于洁净度的分级表述不确切,定为区间值: ISO 5级——≥ 0.5 µm的尘粒数为>350粒/m  3 到≤3500粒/m  3 。造成技术概念上的“混乱”。 
(4)ISO 洁净度等级分为9个级别。ISO 1级(≥0.1 µm,10粒/m3)尚无工程应用;ISO 9级(≥0.5 µm,3520万粒/m  3 )工程中很少应用,GMP-98版中曾使用30万级(≥0.5 µm,1050万粒/m  3 )。ISO 5级(≥0.5 µm,粒子**大浓度限值3520粒/m  3)相当于美联邦标准FS 209百级(≥0.5 µm,粒子 **大浓度限值3530粒/m3,或100粒/ft3)。

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