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洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级

洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级

 

SCP等级
粒径
0.005 µm
0.1 µm
 
 
 
 
 
0.05 µm
5
 
 
 
 
 
0.001 µm
10µm
 
 
 
 
 
50 µm
100 µm
500µm
Scp1级
(200)
100
20
(10)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp2级
(2000)
1000
200
100
(20)
(10)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp3级
(20000)
10000
2000
1000
(200)
(100)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp4级
(200000)
100000
20000
10000
2000
1000
(200)
(100)
 
 
 
 
 
Scp5级
 
 
 
 
 
1000000
200000
100000
20000
10000
2000
1000
(200)
Scp6级
 
 
 
 
 
(10000000)
2000000
1000000
200000
100000
20000
10000
2000
Scp7级
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
10000000
2000000
1000000
200000
10000
20000
Scp8级
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
100000000
2000000
1000000
200000
#p#分页标题#e#

 

表中的值是每1平方米的表面积上等于或大于关注数粒径的离子浓度及SCP等级,括号内的数字,其对应的粒径不应用于分级;选择七大粒径进行分级.
对较低SCP级别的分级,要有大量的测量结果以确立有效值.
 
洁净室及相关受控环境——按纳米粒子浓度划分空气洁净度等级
按悬浮粒子浓度划分空气洁净度等级扩展到纳米尺度分级表

 

 
ISO 14644-12 粒径范围(NPC)
ISO 14644-1 粒径范围(APC)
 
0.001 µm
(1 nm)
0.005 µm
(5 nm)
0.01 µm
(10 nm)
0.05 µm
(50 nm)
0.1 µm
0.2 µm
0.3 µm
0.5 µm
1 µm
5 µm
1
145000 g
5080
1200
e
10e
e
e
e
e
f
2
1 450 000 g
50 800 
12 000
423
100
24 c
10e
e
e
f
3
14 500 000 g
508 000
120 000 b
4230
1000
237
102 b
35 e
e
f
4
145 000 000 g
508 000
1 200 000
423 00
10 000
2370
1020
352
83 e
f
5
d
50 800 000
12 000 000
4 23000
100 000
23700
10200
35 20
8 32
f
6
d
d
d
4 230 000
1000 000
237000
102000
35 200
8 320
293
7
d
d
d
d
d
d
d
35 200 0
8 320 0
2930
8
d
d
d
d
d
d
d
35 200 00
8 320 00
29300
9
d
d
d
d
d
d
d
35 200 000
8 320 000
293000
#p#分页标题#e#

注:a)纳米粒子浓度分级表必须与ISO 14644-1分级表配合使用。

    b)ISO-NPC 3级120 000个粒子是包括所有粒径≥ 10 nm 粒子的累计浓度。ISO-APC 3级35个粒子是关注粒径(considerd)≥ 0.5 µm 时,空气中悬浮粒子的**大浓度限值(maximun concentration limit)。  
c)分级采样量要大,见ISO 14644-1序贯采样法。
   d)粒子浓度过高,限值不适用。 
 e)由于采样和统计的局部性,该低浓度不适合于分级。
   f)由于在采样系统中可能的粒子损失,使得低浓度和> 1 µm的粒径不适合于分级。
   g)颁布时该粒径计数超出当前仪器测量范围,本栏供未来使用。
同一个洁净度要求,洁净室处于不同的占有状态,其污染的程度不同:
(1)关注粒径(Considered Particle Size): 0.1 µm;0.2 µm;0.3 µm;0.5 µm;1 µm;5 µm。 0.1 µm~ 0.2 µm 12英寸芯片厂受控环境关注的粒径。 0.2 µm~ 0.3 µm 为空气过滤器**宜穿透粒径 MPPS(Most penetrating particulate size)。0.5 µm~ 5 µm 与细菌的粒径相近(GMP-2010,洁净区悬浮粒子的关注粒径为:0.5 µm;5 µm)。
 (2)G际上取得共识的“技术定义”是,ISO 5级——≥ 0.5 µm 的粒子**大浓度限值为3520个/m  3。空气中的悬浮粒子为分散系,具有随机性和不确定性;计量时引入统计学概率:95%置信上限(UCL, Upper confidence Limit)。 
(3)G内一些G家规范关于洁净度的分级表述不确切,定为区间值: ISO 5级——≥ 0.5 µm的尘粒数为>350粒/m  3 到≤3500粒/m  3 。造成技术概念上的“混乱”。 
(4)ISO 洁净度等级分为9个级别。ISO 1级(≥0.1 µm,10粒/m3)尚无工程应用;ISO 9级(≥0.5 µm,3520万粒/m  3 )工程中很少应用,GMP-98版中曾使用30万级(≥0.5 µm,1050万粒/m  3 )。ISO 5级(≥0.5 µm,粒子**大浓度限值3520粒/m  3)相当于美联邦标准FS 209百级(≥0.5 µm,粒子 **大浓度限值3530粒/m3,或100粒/ft3)。

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